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產(chǎn)品中心

Product Center

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超小型真空探針臺

產(chǎn)品簡介

超小型真空探針臺,迷你型探針臺只有手機(jī)大小,手動調(diào)節(jié)探針,底部可透光,測試光譜

產(chǎn)品型號:KT-Z4019MRL4T
更新時間:2024-03-29
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問量:1793
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品牌鄭科探

超小型真空探針臺,迷你型探針臺只有手機(jī)大小,手動調(diào)節(jié)探針,底部可透光,測試光譜,

.探針臺與測試儀器配接后可用于集成電路芯片及各種晶體管芯的電參數(shù)測試及功能調(diào)試,適用于科研、新品試制及小批量生產(chǎn)的中間測試

溫度范圍: 77degK ~ 480degK
? 探針座數(shù)量: 4~6sets
? 寬敞的工作間距
? 針座精度10um
? 真空泵浦: 10^-3 torr (機(jī)械泵)/10^-6 torr(分子泵)
? 溫度控制器
? Thermo-couple @ certain position & Thermo-meter
? 50L氮?dú)馄?/span>
? 液態(tài)氮/氣態(tài)氮連接閥

組件:溫度可低至-190℃,;真空系統(tǒng)可選機(jī)械泵或分子泵系統(tǒng),真空度可達(dá)到10-3Tor。高低溫真空探針臺應(yīng)用:可應(yīng)用于低溫或高溫真空環(huán)境下被測樣品的電學(xué)性能測試分析,如:半導(dǎo)體/微電子,電子,機(jī)電,物理,化學(xué),材料,光電,納米,微機(jī)電/MEMS,生物芯片,航空航天等科學(xué)研究領(lǐng)域,

 

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超小型真空探針臺KT-Z4019MRL4T

真空腔體

類型

高溫型室溫到350

高低溫型 室溫到350  室溫到-196

腔體材質(zhì)

304不銹鋼 6061鋁合金 可選

腔體內(nèi)尺寸

127mmX57mmX20mm

腔體外尺寸

150mmX80mmX32mm

腔體重量

不銹鋼材質(zhì) 1.5KG     鋁合金材質(zhì) 0.5KG

腔體上視窗尺寸

Φ42mm(可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離)

腔體抽氣口

KF16法蘭(其余接口規(guī)格可轉(zhuǎn)接)

腔體真空測量口

KF16法蘭(其余接口規(guī)格可轉(zhuǎn)接)

腔體進(jìn)氣口

6mm快擰 6mm快插

腔體冷卻方式

腔體水冷+上蓋氣冷

腔體水冷接口


腔體正壓

0.05MPa

腔體真空度

機(jī)械泵≤5Pa 5分鐘)  分子泵≤5E-3Pa30分鐘)

樣品臺

樣品臺材質(zhì)

不銹鋼 銀銅合金 純銀塊

銀銅合金 純銀塊

樣品臺尺寸

26x26mm

樣品臺加熱方式

電阻加熱

電阻加熱 液氮制冷

樣品臺-視窗 距離

11mm(可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離到6mm

樣品臺測溫傳感器

PT100型熱電阻

樣品臺溫度

室溫到400

室溫到400  室溫到-196

樣品臺測溫誤差

±0.5

樣品臺升溫速率

高溫100/min  低溫7/min

溫控儀

溫度顯示

7寸人機(jī)界面

溫控類型

標(biāo)準(zhǔn)PID溫控 +自整定

溫度分辨率

0.1

溫控精度

±0.5

溫度信號輸入類型

PT100 (可選K  S  B型熱電偶)

溫控輸出

直流線性電源加熱

直流線性電源加熱+液氮流速控制器

輔助功能

溫度數(shù)據(jù)采集并導(dǎo)出 實(shí)時溫度曲線+歷史溫度曲線 可擴(kuò)展真空讀數(shù)接口

溫控器尺寸

32cmX170cmX380cm

溫控器重量

5.6KG

探針

電信號接頭

配線轉(zhuǎn)接 BNC接頭   BNC三同軸接頭  SMA 接頭 香蕉插頭 線長1.2

電學(xué)性能

絕緣電阻 4000MΩ     介質(zhì)耐壓 200V    電流噪聲 10pA

探針數(shù)量

4探針(可擴(kuò)展5探針)

探針材質(zhì)

鍍金鎢針 (其他材質(zhì)可選)

探針尖

10μm

手動探針移動平臺

X軸移動行程

20mm    ±10mm(需手動推動滑臺)

X軸控制精度

500μm

R軸移動行程

120°    ±60°(需手動旋轉(zhuǎn)探針桿)

R軸控制精度

500μm

Z軸移動行程

2mm    ±1mm

Z軸控制精度

50μm(需手動螺紋調(diào)節(jié)探針桿)



 

 

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