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微型真空探針臺設(shè)計有進氣口和抽真空接口其真空度用機械泵可達＜5Pa分子泵可達＜-3Pa。真空信號連接處使用高級真空電極信號接頭，保證氣密性及抗干擾性能。使用時將需將待檢測的器件方在加熱臺面，探針尖處由3軸可移動探針手動調(diào)節(jié)移動至被測試器件的引腳處，外部信號線連接測試儀器來測試電學信號。

微型真空探針臺熱臺測試系統(tǒng)測試儀器 快速實現(xiàn)室溫-200℃環(huán)境的控溫，可在真空環(huán)境下對樣品進行光學，電學測試，測試中也可實現(xiàn)惰性氣體的快速充放。

擁有一臺高溫1000℃真空探針臺溫度溫度±1℃ 你在材料測試方面 多功能 全方面 可擴展 顯微鏡熱臺 微型探針臺 氣敏濕敏探針臺 拉曼光學測試臺 熱電探針臺 光電探針臺 非磁性霍爾效應(yīng)探針臺

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電路板微型探針臺和晶圓探針 鄭科探微型探針顯微鏡冷熱臺 高溫400℃ 低溫-190℃ 4個可移動探針 測試噪聲小于5E-13A 可擴展上下雙透視窗口用于光電測試 可擴展凹視鏡 用于拉曼光譜測試 探針腔體可達真空0.1pa（機械泵） 1E-3Pa（分子泵）可用于光學 氣敏 濕敏 壓敏材料 電化學測試